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CVD工艺气体管道系统和液体输送系统

2020-04-01 09:51:54    责任编辑: 工艺管道系统安装厂家     0

CVD工艺气体和液体输送系统

化学气相沉积(CVD)工艺是指半导体和太阳能行业中通常使用的一种制造程序。程序涉及从气相将固体材料沉积到基板或晶片上。

CVD工艺的关键组成部分之一是气体输送系统,该系统将前体供应到反应室。当气体与加热的基材接触时,这些气体分解(反应)并在基材上形成固体层。
NFO技术



这种CVD工艺使制造商可以在“掺杂”步骤中添加其他材料,包括锌。在基板上施加一层掺杂会影响其导电能力。制造NFO薄膜的第一步需要创建一种NFO溶液,该溶液由一种有机溶剂与铁和镍化合物结合而成。

其他步骤包括:

·在硅晶片上铺铂。

·将NFO解决方案引入晶圆。

·旋转晶圆以使溶液均匀地分布在整个表面上。

·加热晶片以溶解溶剂。

·在750摄氏度的温度下重新加热晶片,从而固化NFO。

据研究人员称,CVD程序还使该材料具有灵活性,并适用于多种应用。研究人员通过在掺杂过程中添加锌,增强了NFO在较高温度下保持其磁性的能力。

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