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气体分配箱VMB在特气系统中的作用

2021-01-04 11:09:42    责任编辑: 特气设备生产制造厂商     0

特气系统是保证半导体、集成电路、太阳能电池、光纤和科研实验室等高新型技术行业中特种气体的安全稳定输送的供气系统。VMB在特气系统中是特气分配到各工艺用气点的气体设备。



特种气体

特种气体,简称特气,又名电子特气,是生产半导体、集成电路、太阳能电池等电子产品的特殊气体,这些特殊气体大多都是易燃易爆、有毒、腐蚀性、氧化性等性质的危险性气体,如硅烷SiH4、笑气N2O等。

特气系统的组成

特气系统由供气端(一般是气体钢瓶)、GC电子特气柜/GR特气架、气体分配箱VMB/VMP、耐腐蚀的EP不锈钢气体管道、气体泄漏监测报警系统、使用终端等组成。


VMB在特气系统中的经济性

首先,大家来了解一下VBM在特气系统中的作用,VMB 可根据客户的实际需求来设计2、3、4、5或其他点数的数目,将气体一分多,给不同工艺用气设备供气,同时供应数台机台,亦可加调压阀做二次调压让压力更加的稳定,设定上下警报讯号做更有效的供应控制。

同时,在特气系统中,特气的每次使用都是需要经过吹扫和抽真空的,对于使用同种气体的不同用气设备,配置气体分配箱VMB则只需要做一次吹扫和抽真空,节省时间成本和人力成本。

以上就是关于特气系统中气体分配箱VMB作用的简单先容,感谢您的阅读!


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